La inspección de semiconductores es un paso fundamental para garantizar el rendimiento y la fiabilidad en todo el proceso de fabricación de circuitos integrados. Como detectores de núcleo, las cámaras científicas desempeñan un papel decisivo: su resolución, sensibilidad, velocidad y fiabilidad inciden directamente en la detección de defectos a escala micro y nanométrica, así como en la estabilidad de los sistemas de inspección. Para satisfacer las diversas necesidades de las aplicaciones, ofrecemos una completa gama de cámaras, desde escaneo de alta velocidad de gran formato hasta soluciones TDI avanzadas, ampliamente utilizadas en la inspección de defectos de obleas, pruebas de fotoluminiscencia, metrología de obleas y control de calidad de empaquetado.
Rango espectral: 180–1100 nm
QE típico: 63,9 % a 266 nm
Velocidad máxima de línea: 1 MHz a 8/10 bits
Etapa TDI: 256
Interfaz de datos: 100G / 40G CoF
Método de enfriamiento: Aire/Líquido
Rango espectral: 180–1100 nm
QE típico: 50% a 266 nm
Velocidad máxima de línea: 600 kHz a 8/10 bits
Etapa TDI: 256
Interfaz de datos: QSFP+
Método de enfriamiento: Aire/Líquido
Rango espectral: 180–1100 nm
QE típico: 38% a 266 nm
Velocidad máxima de línea: 510 kHz a 8 bits
Etapa TDI: 256
Interfaz de datos: CoaXPress 2.0
Método de enfriamiento: Aire/Líquido